0010-23716 AMAT PMAX 发射仪探针组件

Description

0010-23716 AMAT PMAX发射仪探针组件

产品说明

0010-23716是应用材料公司（AMAT）专为其PMAX系列热处理设备设计的发射仪探针组件，用于实时监测和控制高温工艺中的温度分布与热辐射。该组件通过精密传感技术，确保半导体晶圆在退火、氧化等热处理过程中的温度均匀性，提升工艺稳定性与产品良率。

0010-23716 AMAT

产品参数

型号：0010-23716

制造商：应用材料（AMAT）

类型：发射仪探针组件

温度范围：覆盖PMAX设备支持的高温工艺（如500°C–1200°C，具体需参考设备规格）

精度：±1%（典型值，依赖校准）

材质：耐高温陶瓷或金属合金，适配恶劣工艺环境

接口：支持与PMAX系统的高速数据传输与控制信号交互

尺寸：模块化设计，适配晶圆处理腔室的空间限制

产品规格

核心功能：

非接触式温度测量（基于红外辐射或光谱分析）。

多区域温度分布监测，支持工艺参数实时反馈。

兼容性：与AMAT PMAX发射仪及热处理系统深度集成。

校准：支持原位校准或离线校准，确保长期测量准确性。

系列

属于AMAT PMAX热处理产品线的关键组件，与PMAX发射仪、工艺腔室等协同工作。

0010-23716 AMAT

特征

高精度传感：采用先进红外或光谱技术，捕捉微小温度变化。

耐环境性：适应高温、真空或腐蚀性气体环境，保障长期可靠性。

模块化设计：便于快速更换与维护，减少停机时间。

实时数据反馈：支持闭环控制，优化工艺参数。

作用

监测半导体晶圆热处理过程中的温度分布。

提供数据支持，确保工艺重复性与产品一致性。

辅助诊断设备异常，降低工艺偏差风险。

用途

半导体晶圆退火、氧化、扩散等高温工艺的温度控制。

与PMAX发射仪配合，实现高精度热辐射管理。

0010-23716 AMAT

应用领域

半导体制造：集成电路（IC）、功率器件、化合物半导体的生产。

光伏行业：太阳能电池片的热处理工艺优化。

科研与实验室：高温材料研究与工艺开发。