810-046015-010 LAM控制模块

Description

810-046015-010 LAM一款半导体制造设备的控制模块，专为LAM Research公司开发。它增强了控制设备的运动和通信。

810-046015-010 LAM

产品参数

型号:810-046015-010

品牌:LAM

类型：控制模块

适用设备:半导体制造设备

功能：运动控制、通信

接口:EtherCAT

电源:24V DC

功耗：<20W

工作温度:0°C至50°C

存储湿度:5%至95%(非冷凝)

防护等级:IP30

尺寸:100 x 60 x 30毫米

重量：250g

产品规格

外壳材质：铝合金

娱乐方式:自然娱乐

安装方式:壁挂式/DIN导轨安装

标志：运行标志、故障标志

连接器:M12连接器

电源接口:2针电源接线柱

810-046015-010 LAM

系列

810系列控制模块共有2款型号，专家：

810-046015-010:EtherCAT接口

810-046015-020:Profibus DP接口

特征

高性能:810-046015-010 LAM控制模块采用高性能芯片和先进的控制技术，可实现高精度的运动控制和快速响应的通信。

可靠性高：810-046015-010 LAM控制模块采用优先元器件和严格的生产工艺，具有良好的可靠性。

兼容性强：810-046015-010 LAM控制模块支持EtherCAT接口，可与各种EtherCAT主站兼容。

详细信息：810-046015-010 LAM控制模块操作简单，易于安装和维护。

作用

810-046015-010 LAM控制模块可用于控制半导体制造设备的运动和通信，实现以下功能：

运动控制:控制设备的运动的轨迹、速度和加速度。

通信：与设备的其他模块进行通信，实现数据交换和信息共享。

故障诊断：诊断设备的故障，提供故障信息。

目的

810-046015-010 LAM控制模块违背了半导体制造领域，例如：

晶圆:沉积、蚀、清洗、喷射等工序

封装测试:封装、测试等

曝光:曝光、显影等工序

810-046015-010 LAM

应用领域

810-046015-010 LAM控制模块可用于以下应用领域：

半导体制造：将控制模块集成到半导体制造设备中

工业自动化:将控制模块应用于其他工业自动化领域

精密仪器：将控制模块应用于精密仪器设备